Analyseur de paramètres de dispositif à semi-conducteur Agilent B1500A / Mainframe de système de caractérisation de semi-conducteur

Présentation et fonctionnalités

L'analyseur de dispositifs à semi-conducteurs Keysight B1500A (Agilent) est un instrument modulaire avec une configuration à dix emplacements qui prend en charge les mesures IV et CV ainsi que les impulsions haute tension rapides. Son interface utilisateur Microsoft ® Windows ® familière prend en charge le logiciel EasyEXPERT d'Agilent, qui offre une nouvelle approche plus intuitive, axée sur les tâches, pour la caractérisation des dispositifs. En raison de ses capacités de mesure de capacité à courant extrêmement faible, à basse tension et intégrées, le Keysight B1500A (Agilent) peut être utilisé pour une large gamme de besoins de caractérisation de dispositifs semi-conducteurs (IC-CAP prend en charge le B1500A). C'est également une excellente solution pour la caractérisation des cellules mémoire non volatiles et la caractérisation des dispositifs à grande vitesse (y compris la mesure NBTI avancée).

 

Les caractéristiques et avantages du Keysight B1500A (Agilent) incluent :

● Performances de mesure IV supérieures : {{0}}, résolution de mesure de 0,1 fA/0,5 µV

● Les fonctions de mesure incluent le balayage monocanal et multicanal, l'échantillonnage temporel, le balayage de liste, le CV quasi-statique (utilisant les SMU), le contrôle direct et l'interface graphique de génération de forme d'onde linéaire arbitraire (ALWG) pour les HV-SPGU.

● Le module capacitif intégré en option prend en charge les mesures CV jusqu'à 5 MHz

● Solutions de commutation CV-IV basées sur positionneur en option disponibles avec une résolution de mesure de tension de 00,5 µV et une capacité de résolution de mesure de courant de 10 fA, 1 fA ou 0,1 fA

● Automatisation facile des tests avec pilotes de testeur de plaquettes semi-automatiques intégrés et séquençage des tests sans programmation via le mode Test rapide

● Générateur d'impulsions à semi-conducteur haute tension en option (HV-SPGU) disponible avec des largeurs d'impulsion programmables de 10 ns et une sortie plus/- 40 V (80 V crête à crête).

● Générateur de formes d'onde/unité de mesure rapide (WGFMU) en option disponible avec ALWG et capacités de mesure rapide de courant ou de tension.

● Une solution IV pulsée 10 ns est disponible pour caractériser les transistors diélectriques à grille k élevée et SOI (silicium sur isolant).

● Un mode de test classique est disponible pour fournir l'apparence, la convivialité et la terminologie de l'interface 4155/4156 tout en améliorant l'interaction de l'utilisateur en tirant pleinement parti des fonctionnalités de l'interface graphique de Microsoft® Windows®

Les principales caractéristiques de l'analyseur de dispositifs à semi-conducteurs Keysight B1500A (Agilent) incluent :

● Caractéristiques générales

o Instrument basé sur PC avec système d'exploitation Windows ® XP Professional

o Solution monobloc pour la mesure courant-tension (IV), capacité-tension (CV), génération d'impulsions, IV rapide et mesure dans le domaine temporel.

o Dix emplacements de module pour les unités de moniteur source (SMU) et d'autres types de modules (MFCMU, HV-SPGU et WGFMU) *

o Analyse de données hors ligne et développement de tests d'application via le logiciel Desktop EasyEXPERT

● Capacités de mesure

o Prend en charge la mesure courant-tension (IV) à 0.1fA et 0.5µV

o Prend en charge les mesures de capacité-tension (CV) quasi-statiques et à moyenne fréquence ]

o Prend en charge des mesures IV rapides et précises dans le domaine temporel pour une large gamme d'applications telles que les mesures IV pulsées, NBTI et RTS.

o Prend en charge la génération d'impulsions haute tension (jusqu'à ±40 V) pour les tests de haute puissance et de dispositifs de mémoire.

 

Guide de sélection des modules :

Principal du module	Machines à sous	spécification
B1510A HPSMU	2	Jusqu'à 200V, force 1A. Résolution de courant 10fA
B1511A MPSMU	1	Jusqu'à 100 V, force 100 mA, résolution de courant 10 fA
B1517A RHSMU	1	Jusqu'à 100 V, force 100 mA, résolution de courant 1 fA
ASU E5288A	N / A	Jusqu'à 100V, force 100mA, résolution de courant 100aA
B1520A MFCMU	1	1kHz à 5MHz, polarisation jusqu'à 100V DC avec SMU
B1525A HV-SPGU	1	Largeur d'impulsion minimale de 12,5 ns, temps de transition de 10 ns, jusqu'à 40 V avec pu à 3 niveaux
B1530A WGFMU	1	Largeur d'impulsion min 100ns, sortie crête à crête 10V, vitesse d'échantillonnage de mesure de courant ou de tension 5ns

 

 

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